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    經過近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。


    集中體現在如下幾個方麵：


    （1）便攜式：最近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便於攜帶，給野外作業和高空作業提供了比較大的方便。


    （2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數百帕左右，對檢測大係統和有大漏的工件很有益。


    （3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調節零點，量程自動轉換，自動數據處理，可外接打印機。整機由微機控製，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。


    （4）全無油的幹式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用幹式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油係統及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。


    （5）檢漏範圍寬：現今生產的四極檢漏儀，質量範圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。


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